產品資料

                            EBARA ESR系列 真空泵維修

                            如果您對該產品感興趣的話,可以
                            產品名稱: EBARA ESR系列 真空泵維修
                            產品型號: ESR100WN
                            產品展商: EBARA真空泵維修
                            產品文檔: 無相關文檔

                            簡單介紹

                            蘇州曼特萊精密電子有限公司提供EBARA ESR100WN真空泵維修以及各類進口真空泵維修。配件確保原裝進口,物美價廉。


                            EBARA ESR系列 真空泵維修  的詳細介紹
                            ESR系列是新研發的應用廣泛的羅桿式干式真空泵,對于L/L,SEM等較輕負荷的制程和腐蝕性制程都可以使用。 性能上具有排氣速度可調節,高通信處理功能,從而適應了省功耗,占地面積小,重量輕的工藝要求。
                             
                            特點:
                             *適合用于輕負荷的制程及腐性氣體制程      
                             低的運行成本,省功耗,*大可60%(與本公司AA系列相比
                             無需N2來做密封(ESR20N
                             小型化,重量,*大減少40% (與本公司AA系列相比
                             增加速控制
                             高性能的通信機能
                             采用高度控制的運
                             
                             
                            ESR Series
                            Specifications Unit ESR20N ESR80WN ESR200WN ESR300WN
                            Pumping Speed 
                            50/60 Hz
                            抽氣速度
                            CFM
                            46 - 71
                            141 - 300
                            353 - 706
                            1059
                            L/min
                            1300 - 2000
                            4,000 - 8,500
                            10,000 - 20,000
                            30,000
                            M3/Hr
                            78 - 120
                            240 - 510
                            600 - 1,200
                            1,800
                            Ultimate Pressure 
                            50/60 Hz
                            mTorr 5 1.5 1 1.5
                            Pa 0.67 0.2 0.13 0.2
                            mBar 0.0067 0.002 0.0013 0.002
                            Connection
                            接口
                            Gas Inlet
                            NW 40
                            NW 50
                            ISO100
                            NW 100
                            Gas Outlet
                            NW 40
                            NW 40
                            NW 40
                            NW 40
                            Power at Ultimate Pressure
                            到達底壓時的功率 
                            KW
                            0.55 - 0.70
                            0.8 - 1.9
                            0.8 - 1.1
                            2.9
                            Maximum Power
                            *大功率
                            KW 2.5 4.5 5 7.5
                            Cooling Water Requirements
                            冷卻水要求
                            Min. Flow Rate 2 2 2 3.5
                            L/min
                            Bearing and Dilution N2
                            隔離和稀N2
                            Bearing Seals
                            0 to 12
                            2 to 12
                            2 to 12
                            2 to 12
                            L/min
                            Cabinet Dimensions inches
                            25 x 11 x 12.6
                            26 x 15 x 25.8
                            31.1 x 15 x 25.8
                            33 x 19 x 35
                            LxWxH
                            外型尺寸 
                            mm
                            635 x 280 x 320
                            660 x 380 x 655
                            790 x 380 x 644
                            (825 x 460 x 880)
                            Weight
                            重量
                            lbs 200 400 520 860
                            kg 90 180 250 390

                            產品名稱:EBARA ESR100WN真空泵維修

                            蘇州曼特萊精密電子有限公司主營:
                            一、進口真空泵維修
                            1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
                            2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
                            3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
                            5、EBARA(荏原):ESA系列、ESR系列、EST系列、A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列,EBARA ESR100WN真空泵維修等
                            6、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
                            7、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
                            8、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
                            9、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
                            10、ULVAC(愛發科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
                            11、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。

                            二、進口真空泵配件銷售:
                            1、類型:真空泵專用維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
                            2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(荏原)、KASHIYAMAORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發科)、VIRIAN(瓦里安)等。

                            三、進口真空油銷售:
                            品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS專用真空油、ADIXEN專用真空油等。
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